| 型號 | HPS-LCX3000 | 工作距離 | 22mm |
| 量程 | 6mm | 線長 | 10mm |
| X方向分辨率 | 4.9μm | 最大掃描速率④ | 35000Hz |
| Z方向可重復(fù)性① | 0.4μm | 全量程下掃描速率② | 5000Hz |
| X方向點數(shù) | 2048 | 鏡面下角度兼容性 | ±22° |
| 尺寸（寬x高x深） | 416x424x108mm | 重量 | 約12.4kg |
| 防護(hù)等級（EN 60529） | IP55 | 電源 | DC 24V，3.75A |
| 連接方式 | 40G光纖 | 數(shù)字量輸入 | 光耦輸入輸出 |
*①該數(shù)值為3σ值，是在我司無塵實驗室光學(xué)平臺下測得的鏡面標(biāo)準(zhǔn)塊的數(shù)值，輪廓數(shù)200000，積分時間200μs，手動調(diào)光信號強度至20%；
*②此速率下X方向掃描點數(shù)為1024點，2048點時全量程掃描速率為2500Hz；
*③此速率下X方向掃描點數(shù)為1024點，2048點時全量程掃描速率為3100Hz；
*④此時Z方向量程為全量程的1/8；
*所有技術(shù)指標(biāo)以官方最新發(fā)布的產(chǎn)品數(shù)據(jù)手冊為準(zhǔn)；
*最終解釋權(quán)歸海伯森所有。
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